激光位移傳感器可以測量位移、厚度、振動、距離、直徑等精密的幾何測量。激光有直線度好的優良特性,同樣激光位移傳感器相對于我們已知的超聲波傳感器有更高的精度。
按照測量原理, 激光位移傳感器分為激光三角測量法和激光回波分析法, 激光三角測量法一般適用于高精度、短距離的測量,而激光回波分析法則用于遠距離測量,下面主要介紹激光三角測量原理
激光位移傳感器原理之激光三角測量法原理
激光發射器通過鏡頭將可見紅色激光射向被測物體表面,經物體反射的激光通過接收器鏡頭,被內部的CCD線性相機接收,根據不同的距離,CCD線性相機可以在不同的角度下“看見”這個光點。根據這個角度及已知的激光和相機之間的距離,數字信號處理器就能計算出傳感器和被測物體之間的距離。
同時,光束在接收元件的位置通過模擬和數字電路處理,并通過微處理器分析,計算出相應的輸出值,并在用戶設定的模擬量窗口內,按比例輸出標準數據信號。如果使用開關量輸出,則在設定的窗口內導通,窗口之外截止。另外,模擬量與開關量輸出可獨立設置檢測窗口。
采取三角測量法的激光位移傳感器線性精度可達0.1um,分辨率更是可達到0.1μm的水平。例如上海協堡電子生產的H系列中SLDS-H35-15A型的激光位移傳感器,它的線性精度±0.1%F.S,重復精度6μm,頻率2khz高響應,可適應惡劣環境。
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